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发明名称 Konfokales Mikroskop mit einem motorischen Scanningtisch
摘要
申请公布号 DE19714221(A1) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 DE19971014221 申请日期 1997.04.07
申请人 FA. CARL ZEISS, 89518 HEIDENHEIM, DE 发明人 DERNDINGER, EBERHARD, 73430 AALEN, DE;CZARNETZKI, NORBERT, 07747 JENA, DE;OTT, PETER, 73430 AALEN, DE;SCHERUEBL, THOMAS, DR., 14197 BERLIN, DE
分类号 H01J37/20;G02B21/00;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G02B21/24;G02B21/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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