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发明名称 Rasterkraftmikroskop mit als einseitig eingespanntem Hebelarm ausgebildeter Rastersonde
摘要
申请公布号 DE4412383(C2) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 DE19944412383 申请日期 1994.04.11
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 SCHELTEN, JAKOB, PROF., 52428 JUELICH, DE;JUMPERTZ, REINER, 52072 AACHEN, DE;MARSO, MICHEL, DR., 52428 JUELICH, DE
分类号 B81B3/00;G01L1/22;G01Q20/04;G01Q60/38;H01J37/28;H01L49/00;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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