| 摘要 |
<p>1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야 진공챔버 펌핑장치 2. 고안이 해결하고자 하는 기술적 과제 본 고안은 진공포트를 웨이퍼 주위에 다수개 형성하고 진공시키므로써 가스의 흐름이 진공펌프측으로만 치우치는 일 없이 균일하게 흐를 수 있도록 하여 웨이퍼의 증착 균일도를 향상시키는 진공챔버 펌핑장치를 제공함에 그 목적이 있다. 3. 고안의 해결방법의 요지 본 고안은 진공챔버의 외측 하단부에 장착되어 진공력을 제공하는 수단; 상기 진공력 제공수단의 장착되며, 진공챔버내에 진공도를 제어하도록 개폐구동하는 진공밸브; 상기 진공밸브의 배출포트에 장착되며, 다수의 관통홀이 형성되며 간막이수단; 및 일단이 상기 간막이 수단의 각 관통홀에 연결되며, 타단이 웨이퍼 주위에 위치하여 가스의 흐름이 균일하게 흐르도록 진공경로를 제공하는 수단을 포함하는 진공챔버 펌핑장치를 제공한다. 4. 고안의 중요한 용도 웨이퍼 주위측의 진공을 일정하게하여 가스 흐름이 한쪽으로 치우침없이 균일하게 흐르도록 한 것임.</p> |
