发明名称 半导体晶片加工用粘合剂和胶带
摘要 本发明揭示了半导体晶片加工用胶带,它包括永久性背衬和在永久性背衬上的一层非压敏粘合剂,所述粘合剂含有热塑性弹性体嵌段共聚物。另外,粘合剂还可任选地含有粘合改性剂,如增粘性树脂、液态橡胶或光致交联剂。所述胶带可用于晶片的打磨和晶片的切片。本发明还揭示了加工半导体晶片的方法。
申请公布号 CN1195424A 申请公布日期 1998.10.07
申请号 CN96195436.1 申请日期 1996.06.13
申请人 美国3M公司 发明人 R·E·贝内特;G·C·伯德;M·K·内斯特加德;E·鲁丁
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 白益华
主权项 1.半导体晶片加工用胶带,它包括永久性背衬和在永久性背衬上的一层非压敏粘合剂,该粘合剂包括热塑性弹性体嵌段共聚物。
地址 美国明尼苏达州