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<p>본 고안은 반도체의 급속 온도 진행 시스템에 관한 것으로, 종래에는 보트 트랜스퍼가 탑재 완료된 무거운 보트를 운반하여야 하므로 파손 될 위험이 있고, 보트가 링 보트이므로 웨이퍼를 탑재 또는 내리기 위해서는 보트 스테이지를 이용해야 하는 불편함이 있었으며, 장비의 구조가 복잡한 문제점이 있었던바, 본 고안은 석영 캡 커버 하부에 웨이퍼를 올리고 내릴 수 있는 구동 장치를 설치하고, 웨이퍼를 탑재하는 링보트를 보트 엘레베이터에 설치함으로써, 보트 트랜스퍼가 보트를 운반하지 않아도 되므로 보트를 파손시킬 수 있는 위험 요소를 배제할 수 있고, 보트 스테이지가 필요하지 않으므로 퍼니스 장비의 구조를 간단하게 할 수 있게 한 것이다.</p> |
