| 摘要 |
<p>웨이퍼의 고온 공정이 진행되는 동안 웨이퍼를 적재한 캐리어의 사이드 플레이트와 지지 막대 사이의 균열 방지 및 보트를 지지하는 지지 막대의 휨을 방지할 수 있는 캐리어가 개시되어 있다. 캐리어는 두 개의 다리를 각각 가지며 중간에 슬릿이 형성된 사이드 플레이트, 사이드 플레이트 상단부에 고정 부착되는 손잡이, 두개의 사이드 플레이트의 다리의 상부에 고정 부착되어 상기 두 개의 사이드 플레이트를 연결하며 보트를 적재할 수 있는 지지 막대 및 지지 막대를 하부에서 지지하면 두 개의 사이드 플레이트의 다리에 고정 부착되는 보강대를 구비한다. 캐리어는 고온의 튜브내에서 웨이퍼의 복사기 고온 확산 공정이 진행되는 동안 웨이퍼를 적재한 캐리어 사이드 플레이트와 연결 막대의 접착 연결 부분의 균열 방지 및 보트를 지지하는 지지 막대의 휨을 방지하여 제품의 수명을 연장시킬 수 있다.</p> |
