发明名称 Uniformly coated photoresist compositions
摘要
申请公布号 EP0506593(B1) 申请公布日期 1998.10.07
申请号 EP19920480023 申请日期 1992.02.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CORNETT, KATHLEEN MARIE;HEFFERON, GEORGE JOSEPH;MONTGOMERY, MELVIN WARREN;MOREAU, WAYNE MARTIN
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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