发明名称 PROCEDURE FOR DRYING SILICON
摘要
申请公布号 SK21298(A3) 申请公布日期 1998.10.07
申请号 SK19980000212 申请日期 1996.08.09
申请人 ICTOP ENTWICKLUNGS GMBH 发明人 SCHELLENBERGER WILHELM;HERRMANNSDORFER DIETER
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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