发明名称 Semiconductor device with defect layer and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0837506(A3) 申请公布日期 1998.10.07
申请号 EP19970117753 申请日期 1997.10.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 OSAWA, AKIHIKO;BABA, YOSHIRO;TSUCHITANI, MASANOBU;HORI, SHIZUE
分类号 H01L29/74;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/322;H01L21/329;H01L29/32;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/32 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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