| 摘要 |
<p>본 고안은 종형 로에서 열처리를 위한 웨이퍼가 탑재되는 봇트에 웨이퍼를 탑재시 로봇이 정확하게 웨이퍼를 정위치에 놓도록 하므로써, 웨이퍼의 칩핑이나 깨어짐을 방지할 수 있는 웨이퍼 칩핑 방지장치를 개시한다. 개시된 본 고안의 웨이퍼 칩핑 방지장치는 로봇의 의하여 이송된 웨이퍼가 로에서의 열처리를 위하여 장착되는 봇트의 웨이퍼가 놓여지는 정위치에 인접한 외측에 형성된 광 전송경로를 통하여 광을 발산하는 발광소자와, 광 전송경로를 통하여 광이 전송될 때, 턴온되는 수광소자와, 수광소자의 턴오프시 로봇의 이송동작을 멈추도록 제어하는 동시에 정위치를 벗어난 지점의 위치신호를 출력하는 제어부와, 제어부의 위치신호에 따라 점등되어 웨이퍼가 정위치로부터 벗어난 위치를 표시하는 위치 표시용 램프를 포함한다.</p> |
