发明名称 PRODUCTION OF QUINONEDIAZIDOSULFONATE AND POSITIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING QUINONEDIAZIDOSULFONATE PRODUCED BY THE SAME PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH10265451(A) 申请公布日期 1998.10.06
申请号 JP19970075642 申请日期 1997.03.27
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 SATO KENICHIRO;TAKADA YASUNORI;TAN SHIRO;AOSO TOSHIAKI
分类号 G03F7/022;C07C303/28;C07C309/71;(IPC1-7):C07C309/71 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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