发明名称 PRODUCTION OF THIN MULTIPLE OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH10265220(A) 申请公布日期 1998.10.06
申请号 JP19970072374 申请日期 1997.03.25
申请人 KOKUSAI CHODENDO SANGYO GIJUTSU KENKYU CENTER;KOBE STEEL LTD 发明人 YAO TAKESHI;TANABE KEIICHI;MASUDA YOSHIO
分类号 C01B13/14;C01B13/32;C01G1/00;C01G3/00;(IPC1-7):C01G1/00 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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