| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITION METHOD AND VAPOR DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10265945(A) |
申请公布日期 |
1998.10.06 |
| 申请号 |
JP19970073344 |
申请日期 |
1997.03.26 |
| 申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO LTD |
发明人 |
HIRONAKA YOSHIO;SAKAI TOSHIO;SHOJI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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