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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR FORMING FILM
摘要
申请公布号 JPH10263455(A) 申请公布日期 1998.10.06
申请号 JP19970071542 申请日期 1997.03.25
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HIRANO SHINJI
分类号 B05D1/40;B05C11/08;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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