用光反射差法探测和监控薄膜外延生长的装置

摘要

本实用新型涉及一种光学仪器,特别是光学与监控装置,该装置由激光器、调制器、平面镜组、光电探测器、放大器和数据采集处理系统等组成,其特征在于:激光器(1)输出偏振光前方安置一调制器,经过调制的偏振光通过安置在光路上的2块以上平面镜后,入射到被测基片表面,经膜表面反射后到光探测器,探测信号经放大器放大,输入到数据采集系统。该装置独立于制膜系统,置于制膜室外,具有应用面广、使用简便等特点,是用于制备和探索高质量外延薄膜材料的有力工具。

主权项

1.用光反射差法探测和监控薄膜外延生长的装置，由激光器、调制器、平面镜组、光电探测器、放大器和数据采集处理系统等组成，其特征在于：激光器 输出偏振光前方安置一调制器，经过调制的偏振光通过安置在光路上的2块以上平面镜后，入射到被测基片表面，经膜表面反射后到光探测器，探测信号经放大器放大，输入到数据采集系统。