发明名称 成像系统及方法
摘要 安排了一种用来支持成像器件于各相应位置以确定一个成像表面的成像支持件(26),使成像器件(20)可以以非破坏性的可移去的方式可移去地安装于支持件上。在一个实施例中,借助于成像支持件上成像器件背面的一个减压气源(28),将成像器件吸在成像支持件(22)上,以致成像器件以可移去的非破坏性方式被准确定位于支持件上。在另一实施例中,用螺钉达到了此目的。成像器件可以被移去而不损坏被移去的器件、周围的器件或支持件。有缺陷的器件可轻易而快速地更换。功能正确的成像器件可容易地移去并重新用于同一个或不同的成像支持件上。
申请公布号 CN1194725A 申请公布日期 1998.09.30
申请号 CN96196642.4 申请日期 1996.08.08
申请人 西玛茨有限公司 发明人 R·O·奥拉瓦;J·I·派蒂尔;T·G·舒尔曼;M·E·沙拉基诺斯;K·E·斯帕尔蒂奥蒂斯
分类号 H01L25/04 主分类号 H01L25/04
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 程天正;傅康
主权项 1.一种用来将多个成像器件瓦支持在各相应位置以确定一个瓦状成像表面的成像支持件,上述成像支持件用来在上述成像支持件上以非破坏性及可移去的方式可移去地安装上述成像器件瓦。
地址 芬兰埃斯波