| 发明名称 |
METHOD OF FORMING DIELECTRIC FILMS WITH REDUCED METAL CONTAMINATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0867037(A1) |
申请公布日期 |
1998.09.30 |
| 申请号 |
EP19960943723 |
申请日期 |
1996.12.11 |
| 申请人 |
WATKINS-JOHNSON COMPANY |
发明人 |
CARVALHEIRA, HELDER, RODRIGUES |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/44;C23C16/452;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;C23C16/54 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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