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发明名称
摘要
申请公布号
JP2805432(B2)
申请公布日期
1998.09.30
申请号
JP19930240843
申请日期
1993.09.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L23/12;H05K1/09;H05K3/10;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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