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发明名称
摘要
申请公布号 JP2806234(B2) 申请公布日期 1998.09.30
申请号 JP19930311506 申请日期 1993.12.13
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/00;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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