发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH10261656(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970066722 申请日期 1997.03.19
申请人 JAPAN RADIO CO LTD 发明人 YAMAZAKI HAJIME;WATANABE YUKIMUNE;KASAI KOJI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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