发明名称 METHOD AND TOOL FOR ARRANGING CELL IN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH10261719(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970066944 申请日期 1997.03.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAHAGI TOMOKO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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