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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10261659(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970064522 申请日期 1997.03.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NITSUTA YOSHIMOTO
分类号 H01L29/41;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
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