发明名称 SEMICONDUCTOR THIN FILM AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10261839(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970065772 申请日期 1997.03.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TATENO KOUTA;OISO YOSHITAKA;AMANO CHIKARA;WAKABI ATSUSHI;KUROKAWA TAKASHI
分类号 H01L29/201;H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
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