发明名称 |
MANUFACTURE OF ELECTROSTATIC DEFLECTION ELECTRODE FOR CHARGE BEAM DRAWING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10261376(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
申请号 |
JP19970064935 |
申请日期 |
1997.03.18 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YOSHITAKE HIDESUKE;HIRASAWA HIROAKI;WAKAYAMA SHIGERU |
分类号 |
H01J9/14;H01J37/147;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J9/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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