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发明名称
WIRING POSSIBILITY ESTIMATION SYSTEM IN CELL ARRANGEMENT
摘要
申请公布号
JPH10261761(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970064664
申请日期
1997.03.18
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MURAKAWA IKUKO
分类号
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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