发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT MULTILAYER INTERCONNECTION AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10261708(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970066939 申请日期 1997.03.19
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA MAKIKO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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