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发明名称
SEMICONDUCTOR ELEMENT MULTILAYER INTERCONNECTION AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10261708(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970066939
申请日期
1997.03.19
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NAKAMURA MAKIKO
分类号
H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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