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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10261596(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970064369 申请日期 1997.03.18
申请人 SONY CORP 发明人 YONEDA YOSHIHISA
分类号 C23C14/58;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/58
代理机构 代理人
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