发明名称 ASPHERICAL SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH10260024(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970084567 申请日期 1997.03.17
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAYAMA SHIGERU
分类号 G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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