发明名称 BEAM ADJUSTMENT METHOD IN CHARGED BEAM LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10261556(A) 申请公布日期 1998.09.29
申请号 JP19970064468 申请日期 1997.03.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUNAOSHI HITOSHI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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