| 发明名称 |
IONIZATION SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10259480(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
| 申请号 |
JP19970085705 |
申请日期 |
1997.03.18 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
KOBAYASHI MASAHIKO;SAHASE HAJIME;TAKAHASHI NOBUYUKI |
| 分类号 |
C23C14/46;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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