| 发明名称 |
CHEMICAL SOLUTION TANK FOR MEGASONIC CLEANING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10261611(A) |
申请公布日期 |
1998.09.29 |
| 申请号 |
JP19970064810 |
申请日期 |
1997.03.18 |
| 申请人 |
DAIKIN IND LTD |
发明人 |
ISHIWARI KAZUO;ASANO KOZO;YAMASHITA MASANORI;IMAMURA HITOSHI |
| 分类号 |
B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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