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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS USE METHOD
摘要
申请公布号
JPH10260381(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970066793
申请日期
1997.03.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MATSUDA MANABU
分类号
G02F1/025;G02F1/015;G02F1/017;H01L31/0352;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):G02F1/025;H01S3/18
主分类号
G02F1/025
代理机构
代理人
主权项
地址
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