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发明名称
BEAM TRANSPORTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10261499(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970064310
申请日期
1997.03.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAZAKI MASAHARU
分类号
H05H7/04;H01J37/147;H01J37/248;(IPC1-7):H05H7/04
主分类号
H05H7/04
代理机构
代理人
主权项
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