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发明名称
HEAD FOR INSPECTING FLAT PLATE-LIKE BODY
摘要
申请公布号
JPH10260233(A)
申请公布日期
1998.09.29
申请号
JP19970082399
申请日期
1997.03.17
申请人
MICRONICS JAPAN CO LTD
发明人
HASEGAWA YOSHIE
分类号
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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