Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions,申请号SG19960005181-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions
摘要
申请公布号	SG52495(A1)	申请公布日期	1998.09.28
申请号	SG19960005181	申请日期	1993.11.24
申请人	SEMATECH, INC.	发明人	SCOTT, RICHARD, G.;SHACKLETON, CRAIG, R.;ELLIS, RAYMOND, W.
分类号	F24F7/06;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	F24F7/06
代理机构		代理人
主权项
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