| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR LASER LIGHT IRRADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256179(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970072742 |
申请日期 |
1997.03.10 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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