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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP ATTACHING DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10256280(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970055736 申请日期 1997.03.11
申请人 NEC CORP 发明人 INO KYOICHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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