发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10256536(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970062573 申请日期 1997.03.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 UCHINO TAKASHI;NAKADA MASAMI;SHIBA TAKEO
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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