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发明名称 METHOD FOR GENERATING DRAWING PATTERN DATA, ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10256124(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970057692 申请日期 1997.03.12
申请人 SONY CORP 发明人 TOMITA MANABU
分类号 H01L21/027;H01J37/302;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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