发明名称 |
WAVEGUIDE TYPE SEMICONDUCTOR PHOTODETECTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10256589(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
申请号 |
JP19970051897 |
申请日期 |
1997.03.06 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TAKEUCHI TAKESHI;TAGUCHI KENSHIN |
分类号 |
H01L31/10;H01L31/02;(IPC1-7):H01L31/10 |
主分类号 |
H01L31/10 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|