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发明名称 DRY ETCHING DEVICE, AND METHOD OF CATCHING REACTIVE PRODUCT PRODUCED BY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH10256230(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970051777 申请日期 1997.03.06
申请人 SONY CORP 发明人 TAMIYA NAOMIKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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