연마패드

摘要

본 고안은 화학적 기계적 연마 장치에 사용되는 연마패드에 관한 것으로, 불균일한 슬러리의 공급으로 인한 평탄도 저하를 방지하기 위하여 연마패드상에 동심원을 이루는 다수의 홈과 중심을 직선으로 지나는 다수의 홈을 형성하므로써 공정의 안정성 및 생산성이 향상될 수 있도록 한 연마패드에 관한 것이다.