| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR HETERO-STRUCTURE, MANUFACTURE THEREOF AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256154(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970070787 |
申请日期 |
1997.03.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAYAFUJI AKIO;YAMAMOTO YOSHITSUGU |
| 分类号 |
C30B1/02;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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