| 摘要 |
본 고안은 반도체소자 제조 공정용 스탭퍼 장비의 스테이지 위치 감지에 사용되는 바미러의 위치 조정 구조를 개선하여 바미러의 위치 조정이 손쉽게 이루어질 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 일측에 통공(1)이 형성되어 상기 통공(1)을 수직으로 관통하는 체결나사(2)에 의해 상판(3)에 회전에 가능하게 결합되고 타측에는 상기 통공(1)과 직교하는 방향으로 길이를 가지는 통공(4)이 형성되는 Y바미러(5)와, 상기 양단에 나사부(6)가 형성되며 일단이 나사부(6)가 상기 Y바미러(5) 타측의 통공(4)을 관통하여 체결되는 X바미러(7)와, 상기 X바미러(7)의 타단에 형성된 나사부(6)가 끼워지며 상판(3)에 고정되는 X바미러 고정블록(8)과, 상기 Y바미러(5)의 타측 상부의 상판(3)에 고정되는 마이크로미터(9)로 구성된 반도체소자 제조 공정용 스텝퍼의 바미러 위치 조정장치이다. |
