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发明名称 METHOD FOR REMOVING SLURRY PARTICLES
摘要
申请公布号 JPH10256198(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19980036899 申请日期 1998.02.19
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 COOK K HYUN;HAROLD G LINDE;PATRICIA E MAMILLION;ANTHONY M PARAGONIA;WERNERDOT A PIERRESON;MATTHEW J RUTTEN
分类号 H01L21/304;B24B37/04;B24B55/12;C09K3/14;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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