| 发明名称 |
THIN-FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256553(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970059152 |
申请日期 |
1997.03.13 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TANABE HIROSHI;YUDA KATSUHISA;OKUMURA NOBU;SATO YOSHINOBU |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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