| 摘要 |
반도체 웨이퍼의 다이 통전 검사장치가 개시된다. 개시된 다이 통전 검사장치의 특징에 의하면, 볼스크류축(210)을 따라 직선이동되는 블록체(220)에 상호 나란하게 돌출되도록 제1샤프트부재(230)와 제2샤프트부재(240)를 설치하고, 그 제1샤프트부재(230)와 제2샤프트부재(240)의 사이에, 반도체 웨이퍼(10)가 척킹되는 척부재(100)의 외주면에 수직하방으로 설치되어 있는 고정축(130)을 위치시켜 블록체(220)의 직선왕복운동에 의해 고정축(130)이 제1샤프트부재(230)와 제2샤프트부재(240)에 의해 간섭되어 척부재(100)가 소정 각도 회동됨으로써 척부재(100)에 척킹된 반도체 웨이퍼의 안착자세가 보다 정밀하게 교정될 수 있도록 구성된 것이다. 이러한 구성의 특징에 따르면, 반도체 웨이퍼에 형성된 단위 소자인 다이의 통전검사에 대한 검사 정밀도 및 효율을 향상시킬 수 있다. |
