| 摘要 |
1. 청구범위에 기재된 고안이 속하는 기술분야 진공라인 연결장치 2. 고안의 해결하고자 하는 기술적 과제 본 고안은 링크 다각형으로 된 조합으로 구성하되, 마지막 조합인 링크부에 조임력을 제공할 수 있도록 하여 간단한 작업공정으로 진공라인간을 연결하는 진공라인 연결장치를 제공함에 그 목적이 있다. 3. 고안의 해결방법의 요지 본 고안은 진공라인간의 서로 접촉하는 두 개의 플랜지에 끼워져 지지하는 다수의 홀더; 상기 다수의 홀더 상하측을 연결하여 다각형 조합하는 링크; 및 상기 링크의 단부에 각각 장착된 홀더를 연결할 수 있도록 장착되며, 상기 다수의 홀더가 플랜지를 클램핑할 수 있도록 조임력을 제공하는 수단을 포함하는 진공라인 연결장치를 제공한다. 4. 고안의 중요한 용도 반도체 진공라인간의 연결을 신속하고 누수없이 결합시킬 수 있도록 한 것임. |
