| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10256169(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970070933 |
申请日期 |
1997.03.10 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TATSUMI TORU;SAKAI AKIRA;IGARASHI NOBUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/324;H01L27/15;H01L31/02;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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