| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SURFACE SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10253331(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970069094 |
申请日期 |
1997.03.06 |
| 申请人 |
ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
SONODA TSUNEHIKO;IKI MAKOTO;SADANAO MASAO;SHIRAYANAGI MORIYASU |
| 分类号 |
G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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